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普泰柔性基材磁控濺射鍍膜機(jī)由核工業(yè)西南物理研究院自主設(shè)計(jì)，擁有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)并申請(qǐng)、獲得多項(xiàng)國家專利。
普泰柔性基材磁控濺射鍍膜機(jī)主要適用于在卷式柔性基材上鍍制大面積、高精度，熱蒸發(fā)及電子束鍍膜無法滿足要求的薄膜，附加值較高。鍍制的薄膜特點(diǎn)為均勻性好、膜層致密、膜基結(jié)合力好，非常適合應(yīng)用在隔熱窗膜、寬幅柔性電路板等對(duì)性能和質(zhì)量有較高要求的領(lǐng)域。
普泰柔性基材磁控濺射鍍膜機(jī)主要配置
| 配置 | 作用及特點(diǎn) |
| 真空系統(tǒng) | 真空獲得及測(cè)量 |
| Polycold系統(tǒng) | 除可凝性水氣等 |
| 冷熱水系統(tǒng) | -300С~300С，冷卻基材防止基材受熱變形 |
| 六套孿生靶系統(tǒng) | 可分別獨(dú)立使用 |
| PEM反應(yīng)濺射控制系統(tǒng) | 提高反應(yīng)濺射速度 |
| 光學(xué)在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng) | 測(cè)可見光透、反射率 |
普泰柔性基材磁控濺射鍍膜機(jī)特點(diǎn)
| 項(xiàng)目 | 要求及特點(diǎn) |
| 適用基材種類 | PET、PI等柔性基材 |
| 卷芯直徑 | 6英寸 |
| 基材寬度 | 1560mm |
| 鍍膜寬度 | 1540mm |
| 鍍膜均勻性 | ±2% |
| 基材最大卷經(jīng) | 570mm |
| 可鍍膜層種類 |
Ti、Cu等多種金屬膜 TiO2、TiN等化合物膜 最多一次可鍍六層膜系結(jié)構(gòu) |