同樣產(chǎn)能投資僅為進口設(shè)備1/5到1/3
目前,磁控濺射光學(xué)鍍膜在國內(nèi)還是個新詞匯。最早的磁控濺射光學(xué)鍍膜機出現(xiàn)在上個世紀末的北美(美國和加拿大),鍍制出來的光學(xué)膜就是AR膜(減反光膜)。隨著技術(shù)的進步,幾十層的光學(xué)膜系被磁控濺射鍍膜機鍍制出來。
在上世紀末光通訊大發(fā)展時期,美國的一家公司使用磁控濺射鍍膜機鍍制出100G的DWDM濾光片,目前這種鍍膜機還在用于CWDM和光通訊截止濾光片的生產(chǎn)。在被稱作光學(xué)鍍膜金字塔尖的光通訊領(lǐng)域的成功應(yīng)用足以說明磁控濺射光學(xué)鍍膜技術(shù)的強大實力和優(yōu)勢!
目前最先進最復(fù)雜的光學(xué)薄膜產(chǎn)品制備在歐美,其中美國以濺射技術(shù)為主,包括離子束濺射和磁控濺射,幾乎不采用電子束蒸發(fā)技術(shù);歐洲則是濺射和電子束蒸發(fā)各半,電子束蒸發(fā)幾乎都輔助以功率強大的等離子源。亞洲和中國的光學(xué)薄膜制備仍然以電子束蒸發(fā)為主,一些著名光學(xué)薄膜制備企業(yè)已開始采用濺射技術(shù),包括離子束濺射和磁控濺射,如中國的昂納通訊、中南集團、永新光學(xué)等。
于2013年5月23-25即將在深圳舉辦的“第六屆深圳國際觸摸屏技術(shù)暨設(shè)備展覽會”上,深圳三束鍍膜技術(shù)公司將重點推介“旋轉(zhuǎn)工件架上在線石英晶體膜厚測控技術(shù)”,此技術(shù)是三束公司的一項核心專利技術(shù),對磁控濺射鍍膜機意義重大。三束公司從2007年開始研發(fā)了磁控濺射光學(xué)鍍膜機,歷時五年,完成了濺射系統(tǒng)、離子源氧化系統(tǒng)、高速工件驅(qū)動系統(tǒng)、膜厚測控系統(tǒng)、操作系統(tǒng)和鍍膜機整體結(jié)構(gòu)的研發(fā)和設(shè)計。公司磁控濺射光學(xué)鍍膜機產(chǎn)品具體分為兩個方向,一個是濾光片級SAOS-1680系列,每爐鍍膜面積在1.5~3平方米,另一個是AR級的SWOS-1800系列,每爐鍍膜面積為13平方米。SWOS-1800系列就是在這里推介給,其主要針對電容式觸摸屏蓋板玻璃AR、AS膜,SENSOR消反光鍍膜以及大面積的柔性基材的AR鍍膜(如偏光片AR+AS鍍膜和PFT基材AR+AS貼膜鍍膜)的鍍膜加工生產(chǎn)。
工件架上在線石英晶體膜厚測控技術(shù):
三束公司自主研發(fā)了旋轉(zhuǎn)工件架上在線石英晶體膜厚測控技術(shù),解決了工件架上膜厚直接測量的重大難題,也為三束公司磁控濺射光學(xué)鍍膜機系列產(chǎn)品的實現(xiàn)奠定了基礎(chǔ)。
旋轉(zhuǎn)工件上晶控探頭照片
旋轉(zhuǎn)陰極技術(shù):
光學(xué)膜層對成膜空間均勻性分布要求特別高,旋轉(zhuǎn)陰極(圓柱靶)不同于平面陰極(平面靶),不存在明顯的刻蝕溝槽,所以成膜空間均勻性分布遠優(yōu)于平面陰極。三束公司為磁控濺射光學(xué)鍍膜機專門研制了雙端固定的旋轉(zhuǎn)陰極。其雙端固定結(jié)構(gòu)形式也是為光學(xué)濺射所必須,它避免了單端固定方式非固定端容易產(chǎn)生的搖擺現(xiàn)象,保證了成膜厚度的時間穩(wěn)定性。
圓柱靶照片
使用純正工業(yè)控制計算機,數(shù)據(jù)穩(wěn)定:
SWOS-1800鍍膜機的數(shù)據(jù)中心使用的是高品質(zhì)工業(yè)控制計算機。高品質(zhì)的工業(yè)控制計算機與普通的民用電腦不同,其CPU、內(nèi)存、主板甚至傳輸線等部件都是由特殊工藝制造,其運行可靠性和抗電磁干擾能力都比民用電腦好很多,同樣運算速度和內(nèi)存量的工業(yè)控制計算機比民用電腦價格也高出很多。高品質(zhì)工業(yè)控制計算機的應(yīng)用,為鍍膜機運行的可靠性奠定了基礎(chǔ)。
工業(yè)控制計算機照片
運行穩(wěn)定性遠優(yōu)于電子束蒸發(fā)鍍膜機:
電子束蒸發(fā)鍍膜機,其電子槍控制系統(tǒng)因為有負高壓系統(tǒng)、弱電信號及控制系統(tǒng),除了其本身的復(fù)雜性以外,負高壓系統(tǒng)又會對弱電信號系統(tǒng)構(gòu)成干擾,這些都會造成鍍膜機整體運行的不穩(wěn)定性,故障率增加。SWOS-1800鍍膜機完全回避了電子束蒸發(fā)鍍膜機的這一缺點,同時,在鍍膜機設(shè)計、元器件采購、制作過程中又堅持可靠性原則,所以其運行穩(wěn)定性遠優(yōu)于電子束蒸發(fā)鍍膜機。
生產(chǎn)效率高投資小
由于獨特的磁控濺射成膜方式以及優(yōu)化的蒸發(fā)源和夾具之間的關(guān)系,使得真空室容積比真空室直徑2050mm電子束蒸發(fā)機真空室容積還小的SWOS-1800鍍膜機裝載量是2050mm電子束蒸發(fā)機4~5倍,對于AS防污膜來講,其鍍膜時間相同。也就是說,一臺SWOS-1800磁控濺射鍍膜機,其每日AS防污膜產(chǎn)能是2050mm電子束蒸發(fā)機產(chǎn)能的四到五倍。對于AR+AS膜,一臺SWOS-1800磁控濺射鍍膜機,其每日產(chǎn)能是2050mm電子束蒸發(fā)機產(chǎn)能的三倍半還多。
對于電容式觸摸屏廠或玻璃蓋板廠,配套鍍膜常能,其投資僅為選擇韓國鍍膜機的1/3,是選擇日本鍍膜機的1/5。該型號鍍膜機已穩(wěn)定為三星等手機廠商的產(chǎn)品多鍍膜加工。